450度光刻胶固化无氧烤箱

450度高温无氧烤箱采用智能烘箱过程管理系统，由上海和呈仪器制造有限公司自主研发，基于TCP/ip协议，与工厂系统对接，实现自动化烘烤，过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造，大大提高生产效力！

450度高温无氧烤箱主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

450度高温无氧烤箱主要技术指标 
1、洁净等级：Class100级
2、含氧量：<=20PPM
3、使用温度：RT～400℃，可做温度：450℃；  
4、腔体数量:2个,上下布置；独立控温 
5、炉膛材料：SUS304镜面不锈钢；加热元件：不锈钢加热器；热偶
6、空炉升温时间：1.5h； 
7.空炉降温时间：375℃--80℃；降温时间1.5-3.5小时 (采用水冷及风冷)； 
8.智能控制系统：日本欧姆龙PCL+PC工控电脑 

智能控制系统特点：
◆ 可接入MES和ERP通讯
◆ 权限分级管理，给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码
◆ 智能控制系统,历史数据、操作、报警，事件等等数据查询，记忆操作步骤，操作便捷
◆ PC 内部记录数据，使用 Excel 等常用软件可以读取，数据记录间隔5S； 
◆ 工厂系统，选择烘烤工艺，启动/停止烘箱；
◆ 工厂系统根据，过程判断待烤料件工位，记录反馈工位信息；
◆ 系统控制开/关门等动作；
◆ 系统记录并处理各种烘箱异常事件。如：超温，氮气不足，含氧量超标、门未关到位；
◆ 实施记录各种相关数据，如，温度，料件ID，工艺信息

工艺线标准 
1、在常温下以3-5℃/min升温速率升温40分钟到200℃ 
2、200℃状态下恒温45分钟 
3、再40min升到375℃ 
4、375℃恒温1H 
5、以每分钟3-5℃的降温速率，79min左右从375℃降到75℃
 



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