HASUC干燥箱家族添新成员了.近日我司推出了一款带基片处理系统真空干燥箱,该干燥箱是我司广大的科研人员认真努力,攻克技术难关经过数百个日夜研制出来的,如果它终于上市了。
有兴趣的朋友可以来电来函咨询。
产品特点:
1、机外壳采用医用级不锈钢316L材质制造,内胆为不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。
2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。
3、微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温精确,可靠。
4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序,温度,真空度及每一程序时间。
5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。
6、整个系统采用优质材料制造,无发尘材料,适用100 级光刻间净化环境。
电源电压:AC 380V±10%/50Hz±2%
输入功率:4000W
控温范围:室温+10℃-250℃
温度分辨率:0.1℃
温度波动度:±0.5℃
达到真空度:133Pa
容积:210L
工作室尺寸(mm):560*640*600
外形尺寸(mm):720*820*1750
载物托架:3块
时间单位:分钟