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技术文章
 
关于HMDS气体预处理真空烘箱的疑问
点击次数:2025 发布时间:2020-10-31
 

1.HMDS是如何涂在硅片表面的?是像匀胶那样甩涂吗?另外,是在什么温度下操作,需不需要在加热硅片的同时涂覆,还是等去把硅片清洗完毕烘干冷却后甩涂?
答:HMDS是气相涂布在硅片表面,也就是硅片在HMDS的蒸汽中放置一会儿,温度约100-180度即可
2.在涂光刻胶之前需要把涂有HMDS的硅片烘干冷却后在涂光刻胶吗?还是把涂有HMDS的硅片不烘干直接涂胶?
答:HMDS处理后需要冷却后涂胶,但等待时间不能太长,过长处理效果会变差,建议4小时内完成涂胶
3.在HMDS上面在滴光刻胶甩涂时,光刻胶内的溶剂会不会又把HMDS层给破坏呢?
答:HMDS上面涂胶不影响HMDS的处理效果
4.在显影过程中硅片表面的HMDS层如何去除掉才能使被刻蚀的硅表面露出?
答:HMDS本身是表面改性,HMDS本身不会涂在园片表面,因此不用担心去除HMDS层

 
 
 
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