传感器,顾名思义是传递、感应的元器件。它对于干燥箱的作用相当的大,干燥箱是依靠传感器来传递温度信息在仪表上能显示。
硅压力传感器的可靠性强化是与一般的干燥箱的传感器不一样,广泛应用于航空、石油化工、动力机械、生物医学、气象、地质以及地震测量等领域中。为保证产品在使用过程中可靠性有保障, 通过对硅压阻式压力传感器进行可靠性强化实验, 对其进行定性的分析,提出相关改进措施。目前技术已经朝着微型化、集成化及智能化的趋势发展, 成为当今发展高新技术装备不可缺少的电子产品。而硅压阻式压力传感器的一些参数随环境应力的改变而发生变化, 为了使产品在使用过程中的可靠性有保障, 尽早发现硅压阻式压力传感器系统设计和制造工艺缺陷是解决上述问题的根本。但是,MEMS器件可靠性标准的缺乏和研究人员对器件的可靠性研究不足, 限制了它的使用,以及可靠性的提高。

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