使用更安全――在真空或惰性条件下，完全消除氧化物遇热爆炸的可能；各种构造复杂的机械部件或其他多孔样品经过清洗后使用真空干燥法，完全干燥后不留任何参与物质；与依靠空气循环的普通干燥相比，粉末状样品不会被流动空气吹动或移动。
真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在低真空极限压力下真空泵的极限压力。 　　

这是真空烘箱真空泵油的重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。

真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。真空烘箱真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。